실리콘 웨이퍼 얼라인먼트

두깨 측정 장치의 프로세스중 측정을 하기 전 실리콘 웨이터를 얼라인 하기 위해 추천드리는 제품은 VS-THV-SWIR 시리즈입니다.

VS-THV-SWIR 시리즈 적용 사례

도입전 과제

- 웨이퍼의 뒷면을 보기 위함

- 가시광이 아닌 적외선을 사용하여 투과 시킨뒤 촬영을 하고 있었음.

- 기존 렌즈는 밝기가 부족하여 검사 속도가 느림.

VS-THV-SWIR 평가와 선정 이유

- 기존 텔레센트릭 렌즈보다 4배 정도 더 밝아져 문제 해결.

VS-THV-SWIR 시리즈 요약(이미지 클릭시 제품페이지로 이동)

- 1000~1600nm의 투과율

- 근적외선까지 대응 가능한 설계

- 1.1" & 1" 센서 대응

- 1.0x, 1.5x, 2.0x, 3.0x, 4.0x 총 5종의 라인업

- 전 제품 가변 조리개 대응 가능

- 전 제품 동축 조명 대응 가능