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[화인스텍] SWIR 기반 웨이퍼 투과 검사에 최적화된 고정밀 머신비전 솔루션

2025-04-11

SWIR  파장대의 웨이퍼 투과 검사에 최적화된 고정밀 머신비전 솔루션

Xenics의 BOBCAT 640 SWIR 카메라와 REVOX의 SLG-150V-NIR 고출력 조명 을 결합한 머신비전 솔루션을 소개합니다.
미세한 내부 크랙까지 감지 가능한 고감도 센서, 투과에 최적화된 고출력 NIR 조명, 생산라인 통합도 손쉬운 유연한 설계로 품질 검사에 정확도와 실용성을 모두 갖춘 솔루션입니다

정밀한 웨이퍼 검사부터 다양한 산업 현장에까지 SWIR 기반 비전 솔루션! 
Xenics의 Bobcat640와 Revox의 SLG-150V-NIR에 대해 화인스텍 블로그를 통해 알아보세요 !

화인스텍-머신비전-Xenics-Camera-Bobcat640-Revox-lights-SLG-홈페이지용Xenics의 BOBCAT 640 SWIR 카메라REVOX SLG-150V-NIR 고출력 조명을 결합해 실리콘 웨이퍼 내부 결함까지 정밀하게 확인할 수 있는 고해상도 투과 솔루션을 소개합니다. 이 솔루션은 뛰어난 감도와 해상도, 안정적인 조명 출력, 손쉬운 시스템 통합까지 가능해 정확도와 실용성을 모두 갖춘 머신비전 검사 기술로 반도체 품질 관리에 효과적으로 활용될 수 있습니다. | 초소형 고성능 카메라 Xenics BOBCAT 640 Xenics의 BOBCAT 640 카메라는 고감도 InGaAs 센서를 기반으로 반도체·레이저·태양광 등 다양한 산업에서의 정밀 투과 검사에 최적화된 카메라입니다. | Xenics BOBCAT 640 특징 해상도 640x512 InGaAs 센서 온보드 이미지 처리 기능 내장 낮은 노이즈, 암전류 특성으로 미세 결함까지 감지 Camera Link / GigE Vision 인터페이스 지원 초소형·경량 디자인으로 설치 유연성 극대화 넓은 작동 온도 범위 (-40°C ~ +70°C) 최대 100 Hz 프레임 속도 Xenics의 BOBCAT 640 카메라는 자체 개발한 비냉각 InGaAs 센서를 탑재하여 안정적인 성능과 우수한 내구성을 자랑합니다. 반도체, 디스플레이, 의료 분야 등에서의 투과 검사에 최적화되어 있으며 대형 픽셀 사이즈를 통해 저조도 환경에서도 높은 정밀도의 검사가 가능합니다. | 고출력 근적외선 LED 광원 REVOX의 SLG-150V-NIR REVOX의 SLG-150V-NIR은 실리콘 소재 투과에 최적화된 머신비전 조명으로 850nm부터 1100nm까지 다양한 파장의 근적외선을 제공하며 기존 할로겐 대비 훨씬 높은 광출력과 낮은 발열을 실현한 제품입니다.? 특히 Xenics의 BOBCAT 640과 결합 시최적화된 조도 환경을 제공하여 웨이퍼 내부 결함 감지 성능을 극대화합니다 | REVOX의 SLG-150V-NIR 특징 850nm / 940nm / 1060nm / 1100nm 파장에서 선택 가능 기존 150W 할로겐 광원 이상의? 고출력 발열이 낮아 열 손상 최소화 광량 피드백 기능(옵션)으로 안정적인 출력 유지 광학 균일도 조정 기능, 배광 거리? 제어 30,000시간의 긴 수명, 안정화 회로 탑재 다양한 FIBER 조명 시스템?에 최적화된 설계 REVOX SLG-150V-NIR은 850nm, 940nm, 1060nm, 1100nm 등 다양한 파장에서 선택이 가능하며 기존 150W 할로겐 광원을 능가하는 고출력 성능을 제공합니다. | Xenics BOBCAT 640 , REVOX의 SLG-150V-NIR 응용 사례? 고온 공정 제어, 적외선 열화상 식품 및 제약의 이물·결함 검사 폐기물 분류, 습기 감지 등 SWIR 기반 웨이퍼 투과 검사에 Xenics의 BOBCAT 640과 REVOX의 SLG-150V-NIR을 결합한 비전 솔루 실리콘 내부 결함까지 감지하는 고감도 SWIR 센서 Xenics BOBCAT 640은 자체 개발한 비냉각 InGaAs 센서를 탑재해 실리콘 웨이퍼 내부의 미세한 크랙이나 결함까지 정밀하게 감지할 수 있습니다. 어두운 환경에서도 선명한 이미지 품질 대형 픽셀과 높은 양자 효율로 저조도 환경에서도 우수한 신호대잡음비(SNR)를 유지하며 REVOX SLG 조명과 조합 시 더욱 선명한 투과 이미지를 구현합니다. 실리콘 투과에 최적화된 고출력 NIR 조명 REVOX SLG-150V-NIR은 850~1100nm 파장에서 고출력을 제공해 실리콘 투과에 최적화되어 있으며, 발열이 적어 웨이퍼 손상을 줄일 수 있습니다. 다양한 장비와 유연한 통합 가능 BOBCAT 640은 다양한 인터페이스를, SLG 조명은 FIBER 호환성과 균일도 제어 기능을 갖춰 생산 라인에 손쉽게 적용할 수 있습니다. 이번 포스팅은 Xenics BOBCAT 640 카메라의 정밀한 이미지 센서 기술과 REVOX SLG-150V-NIR의 고출력 광원 성능이 결합해 실리콘 내부 구조까지 선명하게 보여주는 머신비전 솔루션을 구현한 사례였습니다. 웨이퍼 검사뿐만 아니라, 다양한 정밀 검사 어플리케이션에서도 적용 가능한 이 조합을 더 많은 산업 현장에서 SWIR 기반의 비전 검사 솔루션으로 활용하고 싶다면 화인스텍으로 문의주세요!