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SWIR 카메라를 통한 머신비전 검사 예시

2022-07-11

SWIR 카메라를 통한 머신비전 검사 예시

안녕하세요? 화인스텍 마케팅 팀 입니다.

화인스텍 머신비전 블로그를 찾아주셔서 감사합니다.

오늘은 SWIR 카메라를 통한 머신비전 검사 예시에 대해 이야기 해보려고 합니다.

인터넷에도 자료가 많지 않아 작성하는데 어려움이 있었는데 저희 파트너사 Xenix에서 자료를 제공받아 포스팅 하겠습니다.

머신 비전 시스템 제조업체는 고객이 모든 종류의 생산 환경에서 품질 관리를 수행할 수 있는 시스템을 구축하기 위해

오랫동안 일반 Area Scan 카메라에 의존해 왔습니다.

하지만 최근에 SWIR 라인 스캔 카메라의 해상도가 개선되고 가격이 떨어짐에 따라

SWIR 카메라가 제공하는 고유의 장점을 활용하는 새로운 검사 시스템이 많이 개발되고 있습니다.

SWIR 카메라는 일반적으로 900~2500nm 사이의 파장대로 일반 카메라로는 확인할 수 없는 파장 특성을 찾을 수 있습니다.

예를 들어 과일과 채소를 분류하고 이물질이 음식과 섞여서 포장된 것을 감지하는 것에 탁월합니다.

고객이 냉동 완두콩을 검사하여 이물질이 없는지 확인해야 하는 농산물 유통 업체라고 가정하겠습니다.

완두콩과 모양, 크기 및 색상이 비슷한 작은 플라스틱 조각이 있는 경우 가시광선을 사용하는 일반 머신 비전 영상으로는 찾아낼 수 없습니다.. 그러나 SWIR 조명은 물에 강력하게 흡수되므로 수분 함량이 높은 냉동 완두콩은 검사 시 이미지에서 완두콩은 매우 어둡게 나옵니다. 수분 함량이 거의 없거나 전혀 없는 플라스틱 조각은 빛을 반사하게 되고 완두콩들 사이에서 돋보이게 되며, 분류기는 공기 제트를 사용하여 파일에서 플라스틱 조각을 걸러낼 수 있습니다. (그림 1 참조)

그림 1. 전형적인 분류 설정에서, 물체는 광원과 SWIR 카메라를 지나 떨어지며,
신속하게 이물질을 식별한 다음, 에어건에 의해 분류됩니다. (Tomra. 이미지 제공)

다른 예로는, 광전지 산업 또한 SWIR 센서의 특성으로부터 이익을 얻을 수 있습니다. 태양 전지 어레이에 들어가는 실리콘 웨이퍼의 내부 결함은 햇빛을 전기로 변환 시켜주는 효율을 심각하게 손상시킬 수 있습니다. 하지만 일반 카메라로는 가시광선을 통해 웨이퍼 표면 만 볼 수 있습니다. 하지만 SWIR 파장에서 웨이퍼는 투명하게 보입니다. 이를 통해 정상적인 육안 검사에서 보이지 않았던 균열을 찾을 수 있습니다.

SWIR 라인스캔 카메라

Line Scan 카메라와 Area Scan 카메라의 주요 차이점은 이름에서도 찾을 수 있습니다.

Line Scan 카메라 센서는 1행에서 많게는 256행으로 구성되어 스캔 되는 물체의 좁은 선을 이어 붙여 이미지화하는 반면, Area Scan 카메라는 각 프레임에서 훨씬 더 큰 영역을 캡처합니다.

각 픽셀은 물체에서 빛을 흡수하여 전하로 변환하고, 인접한 선은 전체 물체의 이미지에 합산됩니다.

그렇게 하려면 스캐너나 물체가 움직여서 다른 섹션이 센서의 FOV 내에 들어와야 합니다.

이러한 이동으로 볼 때, Line Scan 카메라가 검사 환경에서 컨베이어 벨트를 따라 이동하거나 분류 대상 물체가 통으로 떨어지는 생산 환경에 적합합니다. 예를 들어 과일과 채소는 일반적으로 탐지기를 지나가는데, 이러한 응용 프로그램에는 모션이 포함되어 있기 때문에 Area Scan 카메라에서는 모션으로 인해 생성된 이미지가 흐리게 표시되는 것을 확인할 수 있습니다.

Line Scan 이미지는 Area Scan 이미지보다 결함이 있는 픽셀을 포함할 가능성이 적어 원하는 결함있는 픽셀을 숨길 수 있으며

저렴한 가격으로 우수한 해상도를 제공합니다.

SWIR 카메라를 선택하는 방법

애플리케이션에 SWIR 이미징을 적용할지 여부를 결정할 때 SWIR 파장에서 눈에 띄는 물체인지를 아는 것이 중요합니다. 라벨 및 바코드와 같은 마킹 검사와 같은 애플리케이션에서는 일반 Area Scan 이미징이 훨씬 저렴한 비용으로 더 나은 작업을 수행하므로 IR 조명을 사용할 필요가 없습니다.

필요한 SWIR 파장을 아는 것이 셋업에 중요한 경우가 많습니다. 어떤 파장이 가장 적합한 지는 용도에 따라 다릅니다. 수분 함량을 기준으로 하는 식품 분류의 경우 사용되는 일반적인 파장은 1450nm이며 물에 매우 강력하게 흡수됩니다. (그림 2 참조) 다른 식품 검사 애플리케이션에는 다른 파장이 필요할 수도 있습니다. SWIR 카메라는 육류의 지방 함량 또는 사과의 타박상과 같은 식품의 여러 측면을 식별하여 주변 영역과 다르게 빛을 반사하거나 흡수하는 데 사용될 수 있습니다. 물고기가 얼마나 신선한 지 측정할 수 있으며, 이물질을 찾는 애플리케이션에도 용이합니다. 예를 들어 분유를 오염시키는 것으로 밝혀진 산업용 화학 물질인 멜라민은 SWIR 조명에서 더 잘 보일 수 있습니다.

그림 2. 가시광선 이미지(오른쪽)에서 다양한 냉동야채(이미지 윗부분)는 다양한 포장지 및 기타 이물질과 모양과 색상이 비슷합니다.
SWIR 이미지(왼쪽)에서 음식물은 IR 파장을 흡수하고 이물질은 이를 반사하여 한눈에 그 차이를 알 수 있습니다. (Tomra. 이미지 제공)

오늘날 일반적인 SWIR 카메라는 900-700nm의 빛에 민감한 인듐-갈륨-비소로 만들어진 검출기를 사용합니다. 그러나 일부 애플리케이션에서는 2000~2500nm의 파장이 필요하며, 이를 확장된 SWIR(Extended SWIR)이라고도 부릅니다. 예를 들어, 광산 산업은 때때로 파장이 바뀌기 때문에 특수 제작된 검출기를 필요로 합니다.

실리콘 웨이퍼 검사는 특정 파장이 사용되지 않습니다.

실리콘은 1200 nm 이상의 파장에서 투명하게 보이므로 1200nm 이상에서는 작동합니다. 물론, 작은 결함을 발견하려면 높은 해상도와 종종 고배율이 필요하며, 파장이 짧을수록 해상도가 높고 감지할 수 있는 결함이 작습니다.

시스템의 해상도는 애플리케이션과도 일치해야 하며 시스템 디자이너는 스캐너의 FOV와 찾고자

하는 입자 또는 결함의 크기를 고려하여 이를 파악할 수 있습니다. 일반적으로 과일과 채소에서 이물질을 찾는 애플리케이션에서는 512 픽셀 카메라로도 충분할 수 있습니다. 실리콘 웨이퍼 검사의 경우, 찾는 결함이 더 작으므로 분해능이 높아야 합니다.

그림 3. SWIR 이미징은 실리콘 웨이퍼 표면 아래의 매우 작은 균열을 감지할 수 있습니다.

(그림 3 참조) 이러한 시스템에는 2048 픽셀 카메라가 필요할 수 있습니다.
웨이퍼에서 더 작은 결함을 발견하기 위한 비교적 새로운 기술 중 하나는 투과와 반사의 조합인 "transflection"이라는 접근법입니다.
웨이퍼 내부에서 짧은 거리를 투과 한 빛이 반사되고, 도중에 균열에 그림자가 생기면, 그림자 자체가 균열 자체보다 커지며 쉽게 발견할 수 있습니다.

출저: XENICS

SWIR Area Camera

모델	센서	CCD/CMOS	Mono/Color	메가	해상도	이미지 서클	셀사이즈	프레임	인터페이스	마운트
Bobcat-320-GigE	InGaAs	CMOS	Mono	0.08	320 x 256	1/2"	20 x 20	100	GIGE	C
Bobcat-320-GigE Gated	InGaAs	CMOS	Mono	0.08	320 x 256	1/2"	20 x 20	400	GIGE	C
XSW-320- GigE [OEM]	InGaAs	CMOS	Mono	0.08	320 x 256	1/2"	20 x 20	100	GIGE	C
Bobcat-640-GigE	InGaAs	CMOS	Mono	0.3	640 x 512	1"	20 x 20	100	GIGE	C
XSW-640- GigE [OEM]	InGaAs	CMOS	Mono	0.3	640 x 512	1"	20 x 20	100	GIGE	-
XCO-MCT 640-GIGE	MCT	CMOS	Mono	0.3	640 x 512	2/3"	15 x 15	105	GIGE	TBD
XCO-InSb 640-GIGE	InSb	CMOS	Mono	0.3	640 x 512	2/3"	15 x 15	320	GIGE	TBD
Serval-640-GigE	Microbolometer(a-Si)	CMOS	Mono	0.3	640 x 480	1"	17 x 17	50	GIGE	Fixed Lens
Tigris-640-MCT-GIGE	MCT	CMOS	Mono	0.3	640 x 512	2/3"	15 x 15	117	GIGE	TBD
Tigris-640-InSb-GIGE	InSb	CMOS	Mono	0.3	640 x 512	2/3"	15 x 15	357	GIGE	TBD
Gobi-640-GigE	Microbolometer(a-Si)	CMOS	Mono	0.3	640 x 480	1"	17 x 17	50	GIGE	TBD
XTM-640-GigE	Microbolometer(a-Si)	CMOS	Mono	0.3	640 x 480	1"	17 x 17	9	GIGE	-
Bobcat-320-CL	InGaAs	CMOS	Mono	0.08	320 x 256	1/2"	20 x 20	100	CAMERALINK	C
Bobcat-320-CL Gated	InGaAs	CMOS	Mono	0.08	320 x 256	1/2"	20 x 20	400	CAMERALINK	C
XSW-320- CL [OEM]	InGaAs	CMOS	Mono	0.08	320 x 256	1/2"	20 x 20	100	CAMERALINK	C
Bobcat-640-CL	InGaAs	CMOS	Mono	0.3	640 x 512	1"	20 x 20	100	CAMERALINK	C
Cheetah-640-CL	InGaAs	CMOS	Mono	0.3	640 x 512	1"	20 x 20	444	CAMERALINK	C
Cheetah-640CL TE3	InGaAs	CMOS	Mono	0.3	640 x 512	1"	20 x 20	111	CAMERALINK	C
XSW-640- CL [OEM]	InGaAs	CMOS	Mono	0.3	640 x 512	1"	20 x 20	100	CAMERALINK	-
Xeva-1.7-320	InGaAs	CMOS	Mono	0.08	320 x 256	2/3"	30 x 30	60	CAMERALINK	C
Xeva-1.7-320 TE3	InGaAs	CMOS	Mono	0.08	320 x 256	2/3"	30 x 30	60	CAMERALINK	C
Xeva-1.7-320 VisNIR	InGaAs	CMOS	Mono	0.08	320 x 256	2/3"	30 x 30	60	CAMERALINK	C
Xeva-1.7-640	InGaAs	CMOS	Mono	0.3	640 x 512	1"	20 x 20	25	CAMERALINK	C
Xeva-2.5-320 TE4	InGaAs	CMOS	Mono	0.08	320 x 256	2/3"	30 x 30	100	CAMERALINK	C
Xeva-2.35-320 TE4	InGaAs	CMOS	Mono	0.08	320 x 256	2/3"	30 x 30	100	CAMERALINK	C
XCO-MCT 640-CL	MCT	CMOS	Mono	0.3	640 x 512	2/3"	15 x 15	105	CAMERALINK	TBD
XCO-InSb 640-CL	InSb	CMOS	Mono	0.3	640 x 512	2/3"	15 x 15	320	CAMERALINK	TBD
Tigris-640-MCT-CL	MCT	CMOS	Mono	0.3	640 x 512	2/3"	15 x 15	117	CAMERALINK	TBD
Tigris-640-InSb-CL	InSb	CMOS	Mono	0.3	640 x 512	2/3"	15 x 15	357	CAMERALINK	TBD
Gobi-640-CL	Microbolometer(a-Si)	CMOS	Mono	0.3	640 x 480	1"	17 x 17	50	CAMERALINK	TBD
XTM-640-CL	Microbolometer(a-Si)	CMOS	Mono	0.3	640 x 480	1"	17 x 17	9	CAMERALINK	-
XSW-320- Samtec [OEM]	InGaAs	CMOS	Mono	0.08	320 x 256	1/2"	20 x 20	100	ANALOG	C
XSW-320- Analog [OEM]	InGaAs	CMOS	Mono	0.08	320 x 256	1/2"	20 x 20	100	ANALOG	C
XS-1.7-320 [XS Base]	InGaAs	CMOS	Mono	0.08	320 x 256	2/3"	30 x 30	60	ANALOG	C
XS-1.7-320 [XS Analog]	InGaAs	CMOS	Mono	0.08	320 x 256	2/3"	30 x 30	50	ANALOG	C
XS-1.7-320 [XS Trigger]	InGaAs	CMOS	Mono	0.08	320 x 256	2/3"	30 x 30	100	ANALOG	C
XSW-640- Samtec [OEM]	InGaAs	CMOS	Mono	0.3	640 x 512	1"	20 x 20	100	ANALOG	-
XSW-640- Analog [OEM]	InGaAs	CMOS	Mono	0.3	640 x 512	1"	20 x 20	25	ANALOG	-
XTM-640-Analog	Microbolometer(a-Si)	CMOS	Mono	0.3	640 x 480	1"	17 x 17	9	ANALOG	-

SWIR Linescan Camera

모델	센서	CCD/CMOS	Mono/Color	K	해상도	이미지 서클	셀사이즈	라인레이트	인터페이스	마운트
Lynx-1024-SQ-GigE	InGaAs	CMOS	Mono	1	1024 x 1	2/3"	12.5 x 12.5	40	GIGE	F, C
Lynx-2048-SQ-GigE	InGaAs	CMOS	Mono	2	2048 x 1	25.6mm	12.5 x 12.5	10	GIGE	F, C
Lynx-512-SQ-GigE	InGaAs	CMOS	Mono	0.5	512 x 1	2/3"	25 x 25	40	GIGE	F, C
Lynx-2048-R-GigE	InGaAs	CMOS	Mono	2	2048 x 1	1.1"	12.5 x 250	10	GIGE	F, C
Lynx-1024-R-GigE	InGaAs	CMOS	Mono	1	1024 x 1	1"	12.5 x 250	40	GIGE	F, C
Manx-512-SQ-CXP	InGaAs with CTIA ROIC	CMOS	Mono	0.5	512 x 1	1/3"	12.5 x 12.5	260	COAXPRESS	M42, F
Manx-1024-SQ-CXP	InGaAs with CTIA ROIC	CMOS	Mono	1	1024 x 1	2/3"	12.5 x 12.5	260	COAXPRESS	M42, F
Manx-2048-SQ-CXP	InGaAs with CTIA ROIC	CMOS	Mono	2	2048 x 1	25.6mm	12.5 x 12.5	260	COAXPRESS	M42, F
Lynx-1024-SQ-CL	InGaAs	CMOS	Mono	1	1024 x 1	2/3"	12.5 x 12.5	40	CAMERALINK	F, C
Lynx-2048-SQ-CL	InGaAs	CMOS	Mono	2	2048 x 1	25.6mm	12.5 x 12.5	10	CAMERALINK	F, C
Lynx-512-SQ-CL	InGaAs	CMOS	Mono	0.5	512 x 1	2/3"	25 x 25	40	CAMERALINK	F, C
Lynx-2048-R-CL	InGaAs	CMOS	Mono	2	2048 x 1	1.1"	12.5 x 250	10	CAMERALINK	F, C
Lynx-1024-R-CL	InGaAs	CMOS	Mono	1	1024 x 1	1"	12.5 x 250	40	CAMERALINK	F, C